3M Liqui-Cel EXF-G494 4X28脱气膜X40案例1：小型半导体实验室超纯水脱气应用

 

3M Liqui-Cel EXF-G494 4X28脱气膜X40案例1：小型半导体实验室超纯水脱气应用

半导体研发实验室超纯水用于芯片工艺研发、材料测试，用水流量小但精度要求极高，某半导体研究院实验室选用3M Liqui-Cel EXF-G494 4X28脱气膜X40，作为实验室超纯水机末端脱气模块，满足研发用水高精度需求。3M Liqui-Cel EXF-G494 4X28脱气膜X40为4×28小型紧凑型膜组件，体积小巧，适配实验室紧凑空间，搭载X40专用脱氧膜丝，脱气精度可达0.5ppb以下，处理流量0.8-1.5m³/h，完美适配实验室小流量用水场景。该脱气膜采用即插即用设计，可直接与各类实验室超纯水机对接，安装无需改造设备，调试简单，运行无需外接电源，依托超纯水机自身水压即可实现高效脱气，能耗几乎为零。3M Liqui-Cel EXF-G494 4X28脱气膜X40膜丝抗污堵、抗老化性能优异，使用寿命长达5年，无需频繁维护更换，脱气后的超纯水完全满足半导体材料测试、芯片工艺研发需求，实验数据精准度提升90%，无氧化干扰因素，成为半导体实验室超纯水脱气的专属选型。


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